אין דעם פּלאַזמע-צו-כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (PECVD) פּראָצעס, יעדע עלעקטרישע פֿאַרבינדונג, פֿון RF מאַכט טראַנסמיסיע ביז פּראָצעס גאַז קאָנטראָל, האָט אַ דירעקטע השפּעה אויף די איינהייטלעכקייט פֿון דין פֿילם דעפּאַזישאַן און טשיפּ פּראָדוקציע. געשטעלט קעגן דער שווערער סביבה פֿון מיניאַטוריזירטע עקוויפּמענט, הויך וואַקוום, און שטאַרקע עלעקטראָמאַגנעטישע אינטערפֿערענץ,וואַגאָpicoMAX® קאַנעקטאָרס, מיט זייערע דריי הויפּט מעלות פון "קאָמפּאַקטקייט, פאַרלעסלעכקייט און עפעקטיווקייט," זענען געוואָרן די אידעאַלע קאַנעקשאַן לייזונג פֿאַר PECVD סיסטעמען.
ינאָוואַטיווע קאָמפּאַקט פּלאַן
אַדאַפּטירן צו פּרעסיסיאָן קאַמער לייאַוץ
דער אינערלעכער פלאץ פון PECVD עקוויפּמענט איז באגרענעצט, וואס פארלאנגט א געדיכטן אויסשטעל פון מאכט, סיגנאל, און סענסינג ליניעס ארום דער רעאקציע קאמער. picoMAX® ניצט אן איינציק-פעדער, טאָפּל-אַקטינג דיזיין, מיט קייפל שטיפט פּיטשיז פון 3.5/5.0/7.5 מ"מ בנימצא. נאך פארבינדונג, פארנעמט עס 30% ווייניקער פלאץ ווי פריערדיגע פראדוקטן, און אדאפטירט זיך פערפעקט צו די וויירינג רעקווייערמענץ ארום דער קאמער. זיין לאך-טיפ קאנעקטאר איז כמעט אינגאנצן איינגעבעטן אין די שטיפט כעדער, וואס שטיצט זייט-ביי-זייט אויסשטעל אן פארלוסט פון פּאָולס, וואס פארבעסערט באדייטנד די אויסניצן פון די קרייז ברעט און ערלויבט אן ארדנטלעכע אויסשטעל פון סיגנאל און מאכט ליניעס אן אריינמישן זיך מיטן פראצעס גאז שטראָם פעלד.
שטאַרקע שוץ קעגן עקסטרעמע אָפּערירן באדינגונגען
PECVD פּראָצעסן אַרייַננעמען הויך וואַקוום, הויך-פרעקווענץ פּלאַזמע, און ווייבריישאַן סביבות, וואָס שטעלן שטרענגע פאָדערונגען אויף קאַנעקטער רילייאַבילאַטי. picoMAX® פֿעיִקייטן אַ סטאַביל סטרוקטור מיט אַרויף צו 12 ג ווייבריישאַן קעגנשטעל, פּרעווענטינג קאַנעקשאַן לאָזנ זיך געפֿירט דורך הויך-פרעקווענץ ווייבריישאַן. עס אויך ינקאָרפּערייץ אַן אַנטי-מיסינסערשאַן פּלאַן און לאַקינג מיטל, ילימאַנייטינג ינסטאַלירונג ערראָרס און פּרעווענטינג אַקסאַדענטאַל דיסקאַנעקשאַן, ינשורינג קאַנטיניואַס ויסריכט אָפּעראַציע אָן דאַונטיים.
געצייַג-פֿרײַ שנעלע פֿאַרבינדונג
picoMAX® פֿאַרמאָגט געצייג-פֿרײַע שנעל-קאַנעקט טעכנאָלאָגיע, וואָס ערמעגליכט "פּלאַג-און-האַלט" קאַנעקשאַנז פֿאַר ביידע איין-שטראַנד און מולטי-שטראַנד דראָטן מיט קאַלט-געפּרעסטע קאַנעקטאָרן. קאָמפּלעקסע וויירינג קאַנעקשאַנז ווערן פֿאַרענדיקט אין איין שריט, וואָס פֿאַרבעסערט באַדײַטנדיק די פֿאַרזאַמלונג עפֿעקטיווקייט און פֿאַרקירצט דיבאַגינג ציקלען. דער מאָדולאַרער פּלאַן איז קאָמפּאַטיבל מיט ריפֿלאָו סאָלדערינג פּראָצעסן, וואָס טרעפֿט די קאָסטן רעדוקציע באַדערפֿנישן פֿון אָטאַמייטיד פּראָדוקציע. עס דעקט אויך אַלע PECVD קאַנעקשאַן סצענאַרן: 3.5 מם שטיפט פּיטש אַקאַמאַדייץ 0.2-1.5 מם² סיגנאַל דראָטן, בשעת 5.0/7.5 מם שטיפט פּיטש שטיצט 16A מאַכט ליניעס. עס שטיצט דראָט-צו-באָרד און דורך-וואַנט ינסטאַלירונג מעטאָדן, איז קאָמפּאַטיבל מיט קאָנטראָל קאַבינעט און קאַוואַטי וויירינג, און איז אין לויט מיט GB/T 5226.1 עלעקטרישע זיכערהייט סטאַנדאַרדן, וואָס בויט אַ שטאַרקע פֿאַרטיידיקונג פֿאַר פּראָצעס פעסטקייט.
אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע, וואו נאַנאָמעטער-לעוועל פּראָצעס פּינקטלעכקייט איז פון העכסטער וויכטיקייט, זענען פאַרלעסלעכע פֿאַרבינדונגען די גאַראַנטיע פֿאַר הויך פּראָדוקציע.וואַגאָpicoMAX®, מיט זיין רעוואלוציאנערן פּראָדוקט פּלאַן קאָנצעפּט, דערגרייכט "קליינע גרייס, הויכע פאָרשטעלונג" אין אַ קאָמפּאַקטן פֿוסדרוק, פּראַוויידינג סטאַבילע, עפֿעקטיווע און לאַנג-דויערנדיקע פֿאַרבינדונג לייזונגען פֿאַר PECVD ויסריכט. דאָס העלפֿט האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַנטן איבערקומען די טשאַלאַנדזשיז פון פּרעציזיע פּראָצעס פֿאַרבינדונגען, באַשיצן די מיקראָמעטער-לעוועל פּרעציזיע פון יעדן טשיפּ.
פּאָסט צייט: 13טן מערץ 2026